洁净室是一种可以控制环境污染程度的封闭房间。在洁净室中,可以利用各种设备、工艺和规程,使空气洁净度、温度、湿度和压力等参数达到要求,以满足特定的生产工艺和科学实验需要。
洁净室等级是衡量洁净室洁净度的指标,由ISO制定,其中最常见的是ISO 14644-1标准。该标准规定了洁净室中空气中的可计数颗粒物(CPC)浓度作为衡量洁净室等级的指标。CPC越小,洁净度就越高,洁净室等级也就越高。
现在来详细介绍一下洁净室等级与CPC的关系,净化级别越高,环境中的可计数颗粒物(CPC)浓度就越少,其对物品质量及生产工艺的影响就越小。洁净室的等级是确定在特定的空气状态前提下粒子的最大容许浓度及其粒径,常用以大气中的单位体积(立方米)的空气中的颗粒物浓度来表示。常见的几个等级如下表:
等级 | CPC(颗粒数/m³) |
---|---|
ISO 1 | 10 |
ISO 2 | 100 |
ISO 3 | 1,000 |
ISO 4 | 10,000 |
ISO 5 | 100,000 |
ISO 6 | 1,000,000 |
ISO 7 | 10,000,000 |
ISO 8 | 100,000,000 |
ISO 9 | 无限制 |
值得注意的是,不同的工业领域对洁净室等级的要求也不同,需要根据实际情况选择适当的等级。本文提供的等级标准是一个参考。